膜掩盖物（不管波长怎么：EUV、DUV和i-line），用于避免颗粒落在掩模上的图画上。颗粒能够落在薄膜上，但它们不会打印，由于它们会失焦。假设没有薄膜，仅仅是让一些颗粒落在掩模上，产值就会明显下降[2]。

　　令人惊奇的是，最近有报导称，EUV用户一般不运用薄膜[3,4]。要害原因是薄膜可能会因EUV光照耀而损坏乃至决裂[5]。台积电还在2023年陈述称，其EUV薄膜基础设施刚刚完结，但没有投入生产[6]。他们还指出，“跟着扫描仪功率添加到400W，调查到了薄膜寿数应战”[6]。此外，本年有报导称，台积电不愿意运用EUV薄膜，由于它们需求每3-4天替换一次，每个薄膜的本钱超越10000美元[4]。

　　在不运用薄膜的情况下，有必要准时进行检查颗粒是否附着在图画区域的掩模上[7]。请注意，检测频率的添加意味着每月的输出晶圆数量削减。这导致了检测本钱和良率危险之间的权衡（图1）。

　　没有薄膜的产值奋斗与产值低于70%的继续报导共同[8,9]。但是，即便在本年，三星也陈述了对EUV薄膜寿数的继续忧虑，即便运用更有出路的候选资料也是如此[10]。忧虑产值的EUV用户将需求继续重视颗粒污染操控。